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通道數 

二、三、四、五、六、七、八通道 

配氣精度 

±1.0%F. S. 

MFC線性度 

±0.5%F.S. 

MFC重復精度 

±0. 2%F. S. 

漏氣率 

1X10-9SCCSHe 

靜密封材料 

氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠） 

預熱時間 

5min 

   工作環境溫度  

-20℃?55℃ 

環境濕度 

(15~85) % RH 

外形尺寸 

≤4通道：352mmX414<="">

供電 

220VAC 50Hz 

配氣稀釋比 

可通 1000:1、500:1、300:1、100:1。默認為 100:1